光刻机项目实验室中,一群人围在一起,看着眼前的那台设备,脸色都带着激动之色。
今天,即将进行第一次生产芯片实验。
刘正阳、梁永德、许阳等人站在最前方,刘正阳和梁永德激动之余,还有着一些犹豫。
梁永德犹豫了一下,还是问道:“小许,这光刻机真能在晶圆制造数以万计的晶体管?”
刘正阳虽然也有些怀疑,不过他倒是看的很开,这些天他也一直跟进许阳的光刻机项目。
相关原理他已经基本了解了。
从原理面来说是可以实现的。
所以哪怕这次失败,以后继续努力就行了。
刘正阳鼓励道:“许阳,你也不要太紧张,哪怕这一次失败了也没有什么,咱们的经费还多着呢!”
许阳笑了出来,“刘老,梁老,你们哪里看出来我紧张了?”
“这虽然只是第一次实验,但我却很有信心,按照我预估的成功几率,起码在五成以!”
“五成?”
刘老笑骂道:“你小子也真敢说,这光刻机项目哪怕放在国际,都属于最先进的领域,这次实验能验证相关原理,就已经达到我的目标了。”
许阳看到刘老他们一副没什么信心的样子,他也没有多说什么,毕竟光刻机还属于新兴事物。
不过等到实验成功之后,不知道刘老他们脸会是什么表情?
这次实验可是他亲自设计的,基本成功率是百分之百,除非出现了什么大的错误,否则就不可能失败。
“行了,咱们也别在这里扯嘴皮子了,现在就开始进行实验吧。”刘老吩咐道。
“行!”
许阳点点头,朝着旁边的李涛说道:“开始吧!”
“是!”
众人都穿着由无纺布制成的白色防尘衣,还带着一个白色的口罩和头套。这年头还不怎么讲究防尘,还是许阳让人用无纺布制作了一批防尘衣,以便最大限度提高芯片的良品率。
整个实验室也进行了改造,地面墙壁全都贴了瓷砖,同时还把整个实验室封闭了起来,
并且安装了一套由许阳设计的循环通风系统,通过压差控制让室内污染物与外界新鲜空气进行交换,达到了初级洁净室的标准。
当然,想要达到后世晶圆厂的洁净室级别,以现在的条件是根本不可能的。
不过现在的芯片,制程精度都在微米级别,对于洁净室的要求也不是很高。
早期芯片的生产,连个无尘室都没有,全都是用手工操作的,当然后果就是芯片的良品率很低。
现在许阳搞出这个初级洁净室,已经最大程度的减低了污染,最大化提升良品率了。
李涛小心翼翼的从旁边一个架子,拿起了一块100mm的晶圆……
……
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