架子一共有几十片100mm直径的晶圆。
这些晶圆是梁老这段时间内,用许阳设计的单晶炉生产出来的。
只生产了一条单晶硅柱,然后切割成几十片晶圆。
李涛带着手套,小心翼翼地用水冲洗着晶圆,然后再进行去离子操作,彻底清除掉面的污染物和金属离子。
紧接着李涛又进行了增黏处理,以便更好的粘附光刻胶……
整个实验室鸦雀无声,所有人都在旁边紧张看着这一幕,只剩下许阳不时出声指导操作。
完成这一切之后,李涛开始涂抹光刻胶,整片晶圆放在一个匀速旋转的操作台,把光刻胶均匀涂抹到整片晶圆面……
然后便是芯片生产最重要的步骤!
光刻!
晶圆被放置在一台桌子大小的光刻机工件台。
“打开光源进行光刻!”
许阳立马冷静吩咐道。
旁边有人开始通电,一盏高压汞灯的光源,猛地绽放出光芒,然后照射在光掩膜面。
光掩膜是芯片的蓝图,是一张刻有集成电路版图的玻璃遮光板,光线从光掩膜面透过,照射在硅晶圆面,通过与光刻胶的反应,便留下了我们想要的集成电路图。
只见光线从光掩膜透过之后,穿过两块球形反射镜,准确无误的1:1投射到了硅晶圆面,完美贴合到了一起。
光线中的紫外线会与光刻胶进行反应,造成光刻胶硬化或者疲软,然后被特定的溶液清除,晶圆就留下了我们想要的电路图案。
当然,芯片还需要进行刻蚀和沉积工作,注入特定的离子,形成一个个晶体管。
这是一个非常耗时的工作,这一系列流程需要进行数十次,甚至数百数千次才能打造出复杂的电路网络……
时间在一点点流逝,所有人大气都不敢出,只能看着工作人员不断重复的工作。
连中午饭点到了,也没有一个人说要去吃饭。
由于光刻工作太繁杂,众人都是换着来的。
累了就换成另外一个人继续干。
终于下午三点的时候,工作人员完成了最后一次光刻工作,整片晶圆面闪烁着七彩的光芒,肉眼还能看到一条条错综复杂的电路网络。
许阳眼中露出一丝喜色。
成功了!
麒麟1号芯片!
它采用3微米制程,32位设计,一共有13.8万个晶体管,频率达到了100Mhz!
这一片晶圆大概能切割出32块芯片。
“许阳怎么样了?”梁永德很心急。
“许阳,成功了?”刘老也连忙询问。
“呵呵,现在还不一定,还要进行芯片封装,才能进行最后一步的测试工作!”许阳扬着笑脸回答。
看到许阳轻松的表情,刘老二人心中也松了一口气,这第一次芯片实验,应该大概率成功了。
刘正阳凑到光刻机,看着那一张闪烁着七彩光泽的硅晶圆,他脸也露出了欣喜。
“这晶圆真好看啊,我现在总算是相信,它能在指甲盖大小的晶圆面,集成成千万个晶体管了。”
梁永德眼中也露出了一丝痴迷。
他研究晶体管研究了一辈子,硅晶体管到现在还没有弄出来呢。
然而这一块指甲盖大小的晶圆面,就有着数万个晶体管,这让他感觉自己是真的老了!
刘老已经等不及了,连忙催促道:“许阳,还等什么,赶紧把芯片封装起来啊。”
许阳点点头,让人把晶圆切割成一块块指甲盖大小的芯片,然后放到了基座面。
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