传统光刻机因为技术限制,对原材料要求苛刻,符合加工条件的原材料价格一般都比较贵。 增加了加工成本。

刨除远场光刻技术的缺点。

第一代光刻机和出口阉割本光刻机,还有第二个致命缺点,就是加工的周期比较长。 处理复杂图案的时候,需要多次对准,多次曝光。

就延长了加工周期。 增加了时间成本。

要是芯片需要多层结构或多个工艺,加工中心还会进一步延长,导致加工的时间成本更高。

第三个缺点是对使用环境的要求。

传统光刻机需要洁净的加工车间,以保证光刻胶和样品不受污染,就需要高规格的加工车间。 高洁净度车间的成本,也会经常在加工成本内。

进一步增加了芯片的成本。 同时。

第一代光刻机和出口版的光刻机,维护也相对复杂,也变相增加了芯片成本。 总的来说。

0.0 第一代光刻机和出口版光刻机,加工精度低,加工成本高,操作不方便,维护起来也很复杂。 注定了第一代和出口版肯定会被淘汰。

但肯定不是现在。

第二代光刻机采用的近场光刻技术,把光刻胶和掩膜之间的距离,缩小到只有光波长的尺寸。 距离近。

更易实现高分辨率。

更容易提升加工的精度。

尽管近场光刻技术精度已经很高,万兴邦还是不太满意。 其一。

近场光刻技术复杂度高,操作难度大。

需要高精度探针,或者接触式探头,对控制和操作的精度要求也很高。

高精度探针制作难度大,成本高,对制造工艺和设备要求有些苛刻,这还只是其中一个缺点.

近场光刻技术的第二个缺点是速度! 这才是万幸帮最在意的。

近场光刻技术工作的时候,需要逐点或逐行转移,相比接触式光刻机技术,速度肯定慢很多。。 这是机制上的问题。

不是光改善其他技术就能追上的。

逐点或逐行转移的加工机制,对于需要通量高和大面积图案的,适用性很低。 而这是未来的趋势。

未来的芯片越来越复杂,需要的通量越来越高,也会越来越大,普通近场光刻技术逐渐过时。 同时。

近场光刻技术由于自身短板,对加工芯片的尺寸和形状也有一定限制。

在加工一些特殊芯片的时候,速度更慢,效率更低,还会降低成功率,增加芯片的制造成本。

这些都是内因。 还有外因。

近场光刻技术对操作者的要求很高,因为需要12高精度调整和控制。 这就要求对操作者进行严格培训。

培训的成本,最终也会加到芯片的成本上。

而且一旦出意外,操作员出了问题,想临时调其他操作员过来根本不可能,因为要求太高了。 对此。

万兴刚想出改进的办法。

使用接触式近场光刻技术弥补短板。

直到万兴邦穿越之前,繁华年代的光刻机,使用的就是接触式近场光刻技术。 是他知道的。

最先进的光刻技术。

刚下线的第二代光刻机,无论透镜技术,还是光刻技术,都超越了时代,达到繁华年代的标准。

接触式近场光刻技术,就是近场光刻技术的改良型。

借助接触探针,或者探针阵列,与光刻胶直接接触,把复杂的图案转移到光刻胶上。

零距离接触,排除其他干扰,能实现更高的分辨率,更快的转移速度,以及更高的可靠性。 稳定性。

尤其是用于高精度和通量高的应用。

远远超过第一代光科技的分辨率限制,在分辨率方面实现了质的飞跃。

在纳米制造、生物学和光学等领域,都有着非常广泛的应用前景,也是多个领域发展的前提。 要是没有高精度芯片,很多领域是发展不起来的。

“接触式近场光刻技术,相比传统的近场光刻技术,最少能提升百分之三十到四十的加工速度。” “节约时间成本,同时能提高精度,提高成品率。”

“第二代光刻机技术,就算一直用到本世纪末,也不会落后,其他国家也根本没机会赶上来。” 万兴邦有这个自信。

因为他拿出来的技术, 一方面来自记忆, 一方面来自系统,两者融合,超越这个时代。

“只要给我一点时间,有了第二代光刻机,无论是奔腾D 处理器,还是酷与双核处理器,我都能弄出来。” 万兴邦回忆起前世的科技。

他可不是盲目自信。

这两种处理器,原来的历史轨迹中,都是两千年之后才出现的, 一个是零五年, 一个是零六年。 这两种处理器的出现,都依赖于光刻机。

刚下线的第二代光刻机,达到了能生产两种处理器的水准,某些方面,甚至远远超过这个水准。 比如光刻胶。

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