众所周知,在组成光刻机的所有核心精密零件中,光学镜头和光学光源,以及双工作台又可以说是其核心中的核心。
一台光刻机的光学光源所包含的光源波长,是决定光刻机工业能力的重要部分。
而光刻机所需要的光源,必须具备体积小、功率高以及稳定的几个特点。
而镜头系统负责将极紫外光线打在晶圆表面上的部分,由于晶圆对于光刻机工作时曝光所需要的光源纯度,以及光纤覆盖率要求非常高,这也就意味着其对于用于打光的光学镜头有着极其严苛的要求。
而目前为止,世界上最为先进的EUV极紫外光刻机,唯一可以使用的镜头,就只有德意志蔡司公司生产的镜头。
作为涉及领域涵盖摄影、测量、显微镜、医疗、天象仪等等很多高精密领域的德意志蔡司公司来说,光学镜片的发展历史始终都有蔡司的身影,可以说蔡司企业的发展历史,就是一部光学的历史。
拥有这样的高数值孔径光学镜头是决定光刻机的分辨率和阈值误差能力,而分辨率和套值误差能力,对于一台光刻机具有至关重要的重要性。
或者说,是只有2006年莱尔蔡司成立的半导体研发中心和配套的加工厂,才能研发生产出来这样的光学镜头。
这是世界上第一个现代化的光刻系统生产和研发中心,很遗憾也很幸运的是,它凑巧就在次贷危机的时候,被顾秋授意杨仕杰以45亿美金的超高溢价全资收购了。
真的只是这么凑巧而已吗?
显然不是!
否则顾秋也不会在全资收购后,大笔大笔资金注入,好吃好喝的供养着那帮德意志科研人员,只为他们能带着顾秋紧急从华夏调派过去的,满天芯科研所光学项目的专家团队,一起成为同事,一起研发一起工作。
如今,在有心算无心的安排下,满天芯科研所的光学项目组那些人,基本上掏空了那帮蔡司专家老师们的存货,然后带着蔡司研发中心的全部数据资料回国,会同中科院三方,开展新一代光刻机的研发工作。
一台光刻机不仅需要精密的零件,这些零件的组装技术也至关重要。
业内人都知道,阿斯麦公司的生产过程从本质上来说,其实更像是一个零件组装公司,因为公司生产各种光刻机所需要的将近90%的零部件,都是是从世界各地采购的,据说在世界上拥有超过五千家供应商。
换句话来说,阿斯麦公司之所以能够在光刻机制造技术上,打败樱花国尼康以及佳能等其他光刻机生产对手,从而在全球光刻机制造和销售市场上占据领先地位,除了强大的研发团队之外,还有一个重要原因,就是他们强大的组装技术。
而一家强大的光刻机组装企业,需要具有各种娴熟的技术工人,和各种组装方面的知识产权,才能够明白各种精密元件如何组装,进而通过他们娴熟的操作和系统的知识来快速和精确的制造一台光刻机。
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