所有人都屏息凝视,机器运行的声音不大,相对安静。
一群专家,开始观察,测试各项实验数据,而杨轶此刻,已经打开了系统,正与系统提供的数据进行对比。
对比完了之后,杨轶直接说:“数据没问题,可以进行下一步了。”
尽管杨轶这么说了,但大家还是不敢大口出气,等待着其他专家的数据核实,这就是科研,大胆假设,小心求证,不急不躁。
“OK!”其他专家,数据检验完,比了一个没问题的手势。
“成功了!”一群围观的科研院院士相互击掌拥抱,虽然尚未成功刻出一块芯片来,但这已经离最终成功只差一步了。
“晶圆。”杨轶下令。
一位院士,马取出12英寸的数片晶圆,并安放到了机器,舱门关,杨轶亲自启动工作指令,机器开始在晶圆工作。
这是一台全自动光刻机,但为了实验的严谨性,现在的操作很保守,一步步来。
高精密设备,实验室里的要求也很高,所以很多院士都在外面观看。
杨轶一直在机器旁观察,留意机器的工作状态。
不多久,终于第一批晶圆顺利光刻成功,杨轶亲自打开机器,院士们严密保护,取出晶圆。
“刻成了!”所有看到这一幕的院士都激动万分,出乎意料,居然第一次试运行,就能顺利出货。
杨轶也高兴,但现在还没完全放下心来,一片晶圆有很多块芯片,这些芯片的合格率也相当重要,只有能最大限度地光刻出合格芯片才算真的成功。
马检测。
今天测试用的是12英寸的晶圆,一块12英寸的晶圆能光刻出多少块的芯片呢?
这取决于所加工芯片的面积,此次测试,光刻的是手机芯片,113.31平方毫米,而晶圆的面积约为70659平方毫米,理想状态,一块晶圆可产出700枚芯片。
但芯片是方的,晶圆是圆的,减去边料,除去不合格品,最终可得芯片未知。
一块晶圆产出的芯片,不可能百分百合格,但杨轶也没有那么高的要求。
只是系统提示,合格率高达八九成。
数块晶圆的芯片,很快初步检测出了结果。
“杨院士,成功了,合格率超过一半。”实际项目负责人方思源告诉杨轶。
杨轶此时,高举右手,比出了胜利的剪刀手。
“耶……”到了此时,所有人才真的放声大叫,欢呼雀跃庆祝夏国光刻机自主研制成功。
“杨院士,可以休息了,今天就到这,我得连夜向面汇报。”方思源与杨轶握手,彼此之间激动得颤抖。
消息很快就传到了守候在科研院等消息的于本初院长那里,马让方思源带着杨轶去见他,霍正刚陪同。
到了于本初的办公室,没等杨轶开口,于本初即刻迎向杨轶。
于本初激动地握住了杨轶的手说:“杨院士,你真是夏国国士,你狠狠地抽了那些列强的脸,让我们国家大放异彩。”
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