室内的光线顿时昏暗下来，一张张人脸朦胧隐约。
杨玄跟着站起，两手撑着桌面道：“很高兴，再一次见到大家。”
“多余的话就不说了，刚刚我看了下目前，咱们公司的各个项目进展……”
说着，杨玄翻阅着面前的项目报告，继续抬头道：“ArF,KrF,XeF,XeCl等几种领域的项目，都已经开始进入研发。”
“而且效率很不错，进展良好，在这里我得先感谢一下大家。”
说完，杨玄冲着众人微微鞠躬。
接着，再次起身的杨玄收起笑脸，严肃道：“但，我现在得通知一下，所有项目暂时停止，接下来，每一位研发人员在内，全部投入arf准分子激光技术的研发当中。”
“因为这一领域，我们被西方国家卡住了脖子。魔都微电子是国内唯一一家光刻机制造商，但现在……西方一道制裁令，停止了全球各国对魔都微电子的合作。”
“那么有解决的办法吗？”
说到这里，杨玄话音停顿了下，目光从每个人的脸一一扫过。
所有人屏息凝神，瞪着一双双炯炯有神的眼，看着杨玄，却默不作声。
因为，在他们的认知里，这是无解的。
西方半导体技术本身就比国内发展迅速，而且国内还停顿了下来，现在双方落差至少要在二三十年。
“有！”
到底还是杨玄自问自答，伸着一根手指道：“我有办法，能在一个月内，突破这道封锁，大家相信吗？”
话音一落，全场哗然。
所有人纷纷转过脸，面面相觑，连陈新龙都没办法淡定了。
“杨老师，这怎么解决？”
陈新龙激动的屏息凝神：“我今天问了微电子研究所的吴老，大家一直认为，唯一的办法，就是钻心科研。”
“这个回答，也没错。”
杨玄点了点头，拿起自己从深市带来的方案，取出两张，放在了投影仪。
明亮的光线一下将各种数据参数，以及设计理念，投影在了巨大荧幕。
一时间，偌大的会议室鸦雀无声。
所有人拧着眉头，齐刷刷的将目光聚焦在荧幕。
“大家看到了，这是Arf准分子激光器提高功率的方案。”
杨玄化身讲师，走到荧幕前，顺手从旁边拿起一根教鞭，指着大屏幕，娓娓道来。
“我们依旧还是按照以往，参考全球两大光源公司，既Cymer和Coherent公司。”
“根据这两大公司的技术经验，我列举了一下几种提高功率的方式。”
“准分子激光器系统由多个模块组成，主要包括气体放电模块、线宽压缩模块、气体模块、监测模块、波长计、控制模块等部分，如图1所示。”
“线宽压缩模块对自然谱宽实现光谱线宽压缩，气体放电腔产生的具有一定发散角的较宽谱宽的脉冲入射到线宽压缩模块，光束经由3或4个棱镜组成的束器扩束，其目的是减小光束的发散角。”
“对于472pm的自然谱宽光谱，采用20倍扩束率，360mm长光栅进行压缩，可实现0.6pm的谱宽，单腔结构难以实现窄谱线和高稳定高能量脉冲的输出。”
“相对于单腔结构，双腔结构是一个很好的解决方案。”
“其中一个放电腔产生窄线宽但低能量的种子脉冲、光源，另一个放电腔实现对种子光源的功率放大。”
双十一看书天天乐，充100赠500VIP点券！
(活动时间：11月11日到11月11日)
本章已完 m.3qdu.com